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    139-2342-9552
    
  
      

      


      
  

      
  
  
      
        
    
      
      
      6寸半自動(dòng)劃片機(jī)
      
      
      
    
      
      
      


      
  
      
    
    
    
    
      
      
      BT3252 精密砂輪劃片機(jī) 
      
      
      高效率高精度高性能
      
      
      BT3252 精密砂輪劃片機(jī)主要用于半導(dǎo)體晶圓、集成電路、QFN、發(fā)光二極管、miniLED、太陽(yáng)能電池、電子基片等的劃切，適用于包括硅、石英、 氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵、鈮酸鋰、藍(lán)寶石和玻璃等材料。其工作原理是通過(guò)空氣靜壓主軸帶動(dòng)金剛石砂輪劃切刀具高速旋轉(zhuǎn)，將晶圓或器件沿切割道方向進(jìn)行切割或開(kāi)槽。 



      
      
      
        139-2342-9552
        獲取定制化方案
              
      
    
      
  
      

      

      
  
      產(chǎn)品詳情產(chǎn)品參數(shù)樣品案例
      
  
      
    
      產(chǎn)品介紹
      
    
      應(yīng)用：
      6寸硅片、陶瓷、PCB板、EMC、石英、玻璃、砷化鎵、鈮酸鋰、碲鋅鎘CZT等材料的精密切割；廣泛用于IC集成電路，LED砷化鎵芯片、二極管、三極管、LED封裝、NTC、MEMS、IC、光伏、醫(yī)療器械、閃爍晶體等行業(yè)。
      其他特征：
      低氣壓、水壓、工作臺(tái)伺服、轉(zhuǎn)臺(tái)伺服、主軸驅(qū)動(dòng)、測(cè)高系統(tǒng)、控制系統(tǒng)的故障報(bào)警，操作腔門安全鎖，漏水檢測(cè)、主軸電流監(jiān)控、真空不足保護(hù)功能。


      
  
      
  
      
    
      產(chǎn)品參數(shù)
      
    
      項(xiàng)目
      產(chǎn)品型號(hào)
      BT3252 精密砂輪劃片機(jī)

      加工尺寸(Processing size)
      ≤150mm
      運(yùn)動(dòng)方式(Movement style)
      單軸半自動(dòng)
      X軸(X-axis)
      最大速度(Max speed)
      600mm/s
      直線度(Straightness)
      2μm全行程
       
      Y軸(Y-axis)
      有效行程(Valid trip)
      150mm
      定位精度(Positioning accuracy)
      2μm全行程
      分辨率(Resolution)
      0.1μm
      Z軸(Z-axis)
      有效行程(Valid trip)
      35mm
      最大刀輪直徑(Max tool wheel diameter)
      60mm
      T軸(T-axis)
      轉(zhuǎn)動(dòng)角度范圍(Rotation angle range)
      380°
      主軸(Spindle)
      最大轉(zhuǎn)速(Max speed)
      40000rpm/min
      額定輸出功率(Rated output power)
      直流/交流1.5KW
       
       
      基礎(chǔ)規(guī)格
      (Basic specifications)
      電源(Power supply)
      220V/50Hz
      壓縮空氣(Compressed air)
      0.5-0.6Mpa Max 180L/min
      切削水(Cutting water)
      0.2-0.3Mpa Max 4L/min
      排風(fēng)流量(Exhaust air volume)
      2m3/min
      尺寸(Size)
      660mm×1108mm×1680mm
      重量(Weight)
      600KG


      
  
      

      

      
  
      
    
      樣品案例
      
    
  
      

      

      
  
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